介质种类

内置了30种气体，用户可现场切换

量程

从0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（详情请咨询）

量程可控比（稳态）

 0.2～100%满量程（500:1）

质量流量精度 

±0.8 %读数或 ± 0.2 %满量程，取大值

重 复 性（2σ）

±（0.15% 读数 + 0.05% 满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移

 0.025%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点漂移

：+0.02 % 满量程/ Atm（从清零压力开始）

质量流量压力满量程漂移 

±0.2 % 读数/ Atm（从校准压力开始）

控制响应时间(T63)

＜50ms（与流量相关，用户可调）

显示响应时间 

＜10ms(与流量相关)

传感器响应时间 

1ms

预热时间

<1s

工作温度

0 ～ +60 ºC（环境和气体）

温度精度

± 0.75℃

工作湿度

0-95%，无冷凝

工作压力

11.5-160PSIA

压力精度

±0.5%读数（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

耐压：20

0PSIA（静压）；75PSID（进出口差压）

数字输入/输出信号

RS232串口和Modbus RTU（默认）；可选RS485串口和Modbus RTU

模拟输入/输出信号

0-5Vdc（默认）；可选1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

模拟信号精度 

在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

数据刷新频率

数字信号40Hz@19200波特率；

模拟信号：1000Hz

供电电压

12-24 VDC

供电电流

250mA；模拟输出选择4 - 20 mA则为290mA

电气接口

DB9M

材质   

主体材质：铝；

阀门材质：430FRSS和黄铜；

密封材质FKM；

传感器材

质请咨询工厂

过程接口

NPT内螺纹，详细规格参考压损表

安装方向

无要求

安装固定孔

2×8-32UNC螺纹，孔深0.328"

防护等级

IP40

LED状态指示灯

供电，通讯和故障